System zur Zuführung eines Boron-Dotierungsmittels mit Tetrafluordiboran
EP3062330
Art A3
16. November 2016
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3062330
- Aktenzeichen
- EP16164364
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 16. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/08H01L21/265H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
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Schwerpunkte
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-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar