Polierflüssigkeitszusammensetzung für Siliciumwafer

EP3062337 Art A1 31. August 2016

Anmelder: Kao Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3062337
Aktenzeichen: EP14856663
Anmeldetag: 21. Oktober 2014
Veröffentlichung: 31. August 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306C09G1/02C09K3/14B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kao Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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