Sensor für Gelösten Sauerstoff

EP3063530 Art B1 28. August 2019

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris-Jetalon Solutions, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3063530
Aktenzeichen
EP14796377
Anmeldetag
31. Oktober 2014
Veröffentlichung
28. August 2019
Erteilung
28. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/64G01N21/77G01N21/85G01N33/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Entegris-Jetalon Solutions, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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