Abscheidungsvorrichtung und Abscheidungsverfahren

EP3064609 Art B1 16. September 2020

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3064609
Aktenzeichen: EP14857865
Anmeldetag: 28. August 2014
Veröffentlichung: 16. September 2020
Erteilung: 16. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/58C23C14/14C23C14/34H01L43/08H01L43/10H01J37/34H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von