Substrathaltevorrichtung und Belichtungsvorrichtung

EP3065165 Art B1 7. Dezember 2022

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3065165
Aktenzeichen: EP14858776
Anmeldetag: 29. Oktober 2014
Veröffentlichung: 7. Dezember 2022
Erteilung: 7. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683G03F7/20H01L21/027H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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