Pulver- und Ablagerungsbekämpfung in einer Drosselklappe

EP3066369 Art B1 13. Februar 2019

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3066369
Aktenzeichen: EP14860865
Anmeldetag: 6. November 2014
Veröffentlichung: 13. Februar 2019
Erteilung: 13. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: F16K1/16B01D53/00F16K51/02F16K27/02F16K1/22C23C16/44B08B9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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