Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung

EP3067750 Art B1 30. Januar 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3067750
Aktenzeichen: EP16164839
Anmeldetag: 8. Juni 2005
Veröffentlichung: 30. Januar 2019
Erteilung: 30. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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