Verfahren zur Herstellung einer Öffnung in einer strukturierten Schicht

EP3067917 Art A1 14. September 2016

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3067917
Aktenzeichen: EP15158411
Anmeldetag: 10. März 2015
Veröffentlichung: 14. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/033H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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