Verfahren zur Herstellung eines Epitaktischen Substrats für ein Halbleiterbauelement

EP3067921 Art B1 26. August 2020

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3067921
Aktenzeichen: EP16166544
Anmeldetag: 13. März 2009
Veröffentlichung: 26. August 2020
Erteilung: 26. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/338C23C16/34C30B29/38H01L21/20H01L21/205H01L29/201H01L29/778H01L29/812H01L21/02C30B19/00C30B23/02C30B29/40H01L29/20C30B25/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Insulators, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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