Verfahren zur Selektiven Ätzung einer auf einem Siliciumsubstrat Abgelagerten Maske
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3072149
- Aktenzeichen
- EP14814932
- Anmeldetag
- 19. November 2014
- Veröffentlichung
- 10. Januar 2018
- Erteilung
- 10. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/8238
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
1849 in Lyon gegründet, zählt Germain & Maureau zu den drei ältesten Kanzleien für gewerblichen Rechtsschutz in Frankreich und gilt heute als führendes europäisches Haus. Über ein Netzwerk in mehr als 170 Ländern begleitet sie Mandanten von der Anmeldung bis zu Verletzungs- und Widerspruchsverfahren.