Verfahren zur Kristallenzüchtung von Siliziumkarbid mittels Verdampfung

EP3072995 Art B1 6. Mai 2020

Anmelder: Siec Badawcza Lukasiewicz- Instytut Technologii Materialow Elektronicznych, Instytut Technologii Materialów Elektronicznych 🇵🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3072995
Aktenzeichen
EP15161654
Anmeldetag
30. März 2015
Veröffentlichung
6. Mai 2020
Erteilung
6. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C30B23/00C30B29/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Siec Badawcza Lukasiewicz- Instytut Technologii Materialow Elektronicznych
Instytut Technologii Materialów Elektronicznych
Land
🇵🇱 Polen

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