Verfahren zum Schutz einer Schichtoberseite in einer Halbleiterstruktur

EP3073514 Art B1 4. Oktober 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3073514
Aktenzeichen: EP15160520
Anmeldetag: 24. März 2015
Veröffentlichung: 4. Oktober 2017
Erteilung: 4. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285C23C14/34H01F41/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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