Substratträger für Reduzierte Übertragung von Thermischer Energie

EP3075004 Art A1 5. Oktober 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3075004
Aktenzeichen: EP13798627
Anmeldetag: 25. November 2013
Veröffentlichung: 5. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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