Automatisches Kultursystem und Zellenverwaltungssystem

EP3075837 Art A1 5. Oktober 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3075837
Aktenzeichen
EP14864115
Anmeldetag
21. November 2014
Veröffentlichung
5. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C12M1/00C12M3/00C12M1/12C12M1/34C12M1/36C12N5/074
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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