Wasch-/trocknervorrichtung, Siebvorrichtung, Wasch-/trocknungsverfahren und Siebverfahren

EP3076182 Art A1 5. Oktober 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3076182
Aktenzeichen: EP14866476
Anmeldetag: 25. November 2014
Veröffentlichung: 5. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01N35/02G01N33/53G01N37/00G01N35/00B01L99/00G01N35/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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