Verfahren und Vorrichtung zur In-Situ-Reinigung einer Prozesskammer

EP3077568 Art B1 20. Februar 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3077568
Aktenzeichen: EP14868549
Anmeldetag: 2. Dezember 2014
Veröffentlichung: 20. Februar 2019
Erteilung: 20. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/56H01J37/32C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von