Suszeptor, Dampfabscheidungsvorrichtung und Dampfabscheidungsverfahren
Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3078762
- Aktenzeichen
- EP16164006
- Anmeldetag
- 6. April 2016
- Veröffentlichung
- 5. September 2018
- Erteilung
- 5. September 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/458
Abstract
A disc-shaped susceptor includes a plurality of recesses that are aligned in a circumferential direction on an upper surface of the susceptor and in which wafers are respectively mounted, in which the susceptor is formed so that a center of the susceptor is dented toward a lower surface thereof from an outer edge thereof.
Anmelder
- Firma
- SUMCO CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Fachgebiete
Schon mit Eröffnung des Europäischen Patentamts 1977 gehörte Kraus & Weisert zu den ersten Kanzleien, die US-amerikanische und japanische Mandanten dort vertraten. Nach Fusion mit der 1934 gegründeten Lederer & Keller firmiert sie als Kraus & Lederer, mit China Desk in München.