Verfahren zur Überwachung von Radius- und Formabweichungen von Atomkraftmikroskopauslegerspitzen und Vorrichtung dafür

EP3078973 Art A1 12. Oktober 2016

Anmelder: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC), Delft University Of Technology, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas (CSIC) 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3078973
Aktenzeichen: EP15163207
Anmeldetag: 10. April 2015
Veröffentlichung: 12. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q40/00G01Q60/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Delft University Of Technology
Consejo Superior de Investigaciones Cientificas (CSIC)
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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