Steuerungsvorrichtung zur Steuerung mindestens eines Manipulators eines Projektionsobjektivs

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3079016

Aktenzeichen

EP16000776

Anmeldetag

5. April 2016

Veröffentlichung

29. Juni 2022

Erteilung

29. Juni 2022

Rechtsraum

EP

IPC

G03F7/20G02B7/02G02B27/00

Abstract

Eine Steuerungsvorrichtung (14; 114) zur Steuerung mindestens eines Manipulators (M1, M2, M3, M4; 36) eines Projektionsobjektivs (16) für die Mikrolithographie durch Generierung eines Stellwegbefehls (38; 138), welcher eine vorzunehmende Veränderung einer optischen Wirkung mindestens eines optischen Elements (L1, L2, L3, L4) des Projektionsobjektivs durch Manipulation einer Eigenschaft des optischen Elements mittels des mindestens einen Manipulators entlang eines Stellweges definiert, wird bereitgestellt. Die Steuerungsvorrichtung ist dazu konfiguriert, aus einer Zustandscharakterisierung (34) des Projektionsobjektivs den Stellwegbefehl für den mindestens einen Manipulator durch Optimierung einer Gütefunktion zu generieren. Dabei umfasst die Gütefunktion eine Linearkombination mindestens zweier Potenzen, eine die Manipulation der Eigenschaft des optischen Elements (L1, L2, L3, L4) definierende Einstellung des mindestens einen Manipulators (M1, M2, M3, M4; 36) wird mittels einer Stellwegvariablen dargestellt und die jeweilige Basis der mindestens zwei Potenzen enthält eine Funktion der Stellwegvariablen ( Xi , x n L ). Weiterhin weisen die Exponenten der mindestens zwei Potenzen unterschiedliche Werte auf.

Anmelder

Firma

Carl Zeiss SMT GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete