Belichtungsvorrichtung und Herstellungsverfahren einer Vorrichtung

EP3079164 Art A1 12. Oktober 2016

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3079164
Aktenzeichen: EP16160376
Anmeldetag: 31. Januar 2006
Veröffentlichung: 12. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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