Verfahren zur Beurteilung einer Oxidhalbleiter-Dünnschicht und zur Qualitätskontrolle der Oxidhalbleiter-Dünnschicht

EP3079165 Art B1 3. Juli 2019

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3079165
Aktenzeichen: EP14868640
Anmeldetag: 1. Dezember 2014
Veröffentlichung: 3. Juli 2019
Erteilung: 3. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01N22/00H01L21/336H01L29/786G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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