Dotierverfahren von Source- und Drain-Bereichen eines Transistors Mithilfe einer Selektiven Amorphisierung

EP3079168 Art A1 12. Oktober 2016

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3079168
Aktenzeichen: EP16164185
Anmeldetag: 7. April 2016
Veröffentlichung: 12. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8234H01L29/66H01L29/786H01L29/417H01L21/8238

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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