Abbildungselement und Abbildungsvorrichtung

EP3079356 Art A1 12. Oktober 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3079356
Aktenzeichen
EP14868028
Anmeldetag
1. Dezember 2014
Veröffentlichung
12. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H04N5/378H01L27/146H04N5/369H04N5/355H04N5/3745
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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