Verfahren zur Erzeugung von Nanometrischen Strukturen durch Selbstanordnung von Blockcopolymeren
Anmelder: Arkema France, Centre National de la Recherche Scientifique, Institut Polytechnique de Bordeaux 1, Université de Bordeaux 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3080218
- Aktenzeichen
- EP14827499
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09D153/00B82Y40/00G03F1/00H01L21/033
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Arkema France
Centre National de la Recherche Scientifique
Institut Polytechnique de Bordeaux 1
Université de Bordeaux - Land
- 🇫🇷 Frankreich
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