Verdampfungsquelle für Organisches Material, Vorrichtung mit einer Verdampfungsquelle für Organisches Material, System mit einer Verdampfungsabscheidungsvorrichtung mit einer Verdampfungsquelle für Organische Materialien und Verfahren zum Betrieb einer Verdampfungsquelle für Organisches Material
EP3080327
Art A1
19. Oktober 2016
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3080327
- Aktenzeichen
- EP13802641
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/12C23C14/56C23C14/24B05D3/04B05D1/02B05D1/00H01L51/00H01L51/56C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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