Verarbeitungsmaschine für Verarbeitungsvorrichtungen, insbesondere Vorrichtungen mit Organischen Stoffen, und Verfahren zum Übertragen einer Verdampfungsquelle aus einer Verarbeitungsvakuumkammer in eine Wartungsvakuumkammer oder aus der Wartungsvakuumkammer in die Vakuumverarbeitungskammer

EP3080328 Art A1 19. Oktober 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3080328
Aktenzeichen: EP14752870
Anmeldetag: 19. August 2014
Veröffentlichung: 19. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/04C23C14/12C23C14/56C23C14/24B05D3/04B05D1/02B05D1/00H01L51/00H01L51/56C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von