Röntgenstrahlvorrichtung

EP3081928 Art B1 9. Juni 2021

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3081928
Aktenzeichen
EP13898946
Anmeldetag
12. Dezember 2013
Veröffentlichung
9. Juni 2021
Erteilung
9. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/04G01T7/00H02K5/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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