Optische Vorrichtung, Messvorrichtung, Messverfahren, Screening-Vorrichtung und Screening-Verfahren

EP3081974 Art B1 3. Juni 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3081974
Aktenzeichen: EP14869374
Anmeldetag: 8. Dezember 2014
Veröffentlichung: 3. Juni 2020
Erteilung: 3. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G02B21/00G01N21/64G02B21/12G02B5/22G02B5/26G02B27/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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