Unterschichtzusammensetzung zur Verbesserung der Selbstorganisation sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung davon

EP3084522 Art B1 9. September 2020

Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3084522
Aktenzeichen
EP14808647
Anmeldetag
8. Dezember 2014
Veröffentlichung
9. September 2020
Erteilung
9. September 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l.
Land
🇩🇪 Deutschland

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