Wechselstromleistungsanschluss, Verfahren zur Bereitstellung einer Wechselstromleistung, und Sputtervorrichtung

EP3084803 Art B1 15. August 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3084803
Aktenzeichen: EP13808035
Anmeldetag: 18. Dezember 2013
Veröffentlichung: 15. August 2018
Erteilung: 15. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01J37/34C23C14/34H01G5/04H01G5/06H01G5/16H01R24/38H01R24/40H03H7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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