Verwendung Nicht-Oxidierender Starker Säuren zur Entfernung von Ionenimplantierten Widerständen
EP3084809
Art A1
26. Oktober 2016
Anmelder: Entegris, Inc., ATMI Korea Co., Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3084809
- Aktenzeichen
- EP14873036
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311G03F7/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
ATMI Korea Co., Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
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37
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Schwerpunkte
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Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar