Sicherheitsverschlüsse und Pumpsysteme

EP3087300 Art B1 5. Mai 2021

Anmelder: CMC Materials, Inc., Krywitsky, Lee A., Cabot Microelectronics Corporation, Chisholm, Dean 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3087300
Aktenzeichen
EP14889257
Anmeldetag
22. Dezember 2014
Veröffentlichung
5. Mai 2021
Erteilung
5. Mai 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F04B9/14F04B17/06F04B53/16F04B53/22F16J13/12F16L55/115F16J13/24
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
CMC Materials, Inc.
Krywitsky, Lee A.
Cabot Microelectronics Corporation
Chisholm, Dean
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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