Temperaturmessverfahren für ein Ultraviolettdurchlässiges Element, Temperaturmessvorrichtung für ein Ultraviolettdurchlässiges Element und Lichtquellenvorrichtung

EP3088858 Art A1 2. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3088858
Aktenzeichen: EP14874513
Anmeldetag: 26. Dezember 2014
Veröffentlichung: 2. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01K11/12G01N21/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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