Detektionsvorrichtung, Messvorrichtung, Lithographievorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP3088957 Art B1 25. November 2020

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3088957
Aktenzeichen: EP16000707
Anmeldetag: 24. März 2016
Veröffentlichung: 25. November 2020
Erteilung: 25. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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