Langlebige Thermische Spritzbeschichtung für die Anwendung in einer Ätz- oder Abscheidungskammer
EP3089195
Art A1
2. November 2016
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3089195
- Aktenzeichen
- EP16165058
- Anmeldetag
- 13. April 2016
- Veröffentlichung
- 2. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte