Beseitigung einer Titannitridhartmaske
EP3089200
Art B1
13. Mai 2020
Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3089200
- Aktenzeichen
- EP16167813
- Anmeldetag
- 29. April 2016
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2020
- Erteilung
- 13. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB
München, Deutschland
ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.
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