Endeffektor und Substratübertragungsroboter

EP3089203 Art A1 2. November 2016

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3089203
Aktenzeichen: EP14875825
Anmeldetag: 27. Juni 2014
Veröffentlichung: 2. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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