Verfahren zum Ätzen eines Films auf einem Halbleiter in einer Halbleiterbearbeitungskammer
EP3090073
Art B1
5. Februar 2020
Anmelder: The Chemours Company FC, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3090073
- Aktenzeichen
- EP14824327
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 5. Februar 2020
- Erteilung
- 5. Februar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23G5/00C09K13/00H01L21/311H01J37/32C09K13/08H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Chemours Company FC, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The Chemours Company FC, LLC
The Chemours Company FC, LLC ist eine Tochtergesellschaft des US-amerikanischen Chemiekonzerns Chemours mit Patenten zu Spezialchemikalien, Fluorpolymeren und Titandioxid.
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Vertreten von
Dannenberger, Oliver André
München, Deutschland
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