Extremultraviolette Lichtquellenvorrichtung
EP3090607
Art A1
9. November 2016
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3090607
- Aktenzeichen
- EP14825308
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 9. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Verdonk, Peter Lambert F. M
Eindhoven, Niederlande
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