Verfahren zur Herstellung von Gemusterten, auf einem Substrat Abgeschiedenen Metalloxiddünnschichten, Dadurch Erhaltene Beschichtete Substrate und Halbleiternanovorrichtungen damit

EP3091103 Art A1 9. November 2016

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3091103
Aktenzeichen: EP15166292
Anmeldetag: 4. Mai 2015
Veröffentlichung: 9. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/06C23C18/12C23C18/14

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Anmelder

Firma: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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