Flüssige Zusammensetzung zur Halbleiterelementreinigung und Verfahren zur Reinigung eines Halbleiterelements

EP3093875 Art A1 16. November 2016

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3093875
Aktenzeichen: EP15776802
Anmeldetag: 31. März 2015
Veröffentlichung: 16. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304C11D7/06C11D7/18C11D7/32C11D7/36H01L21/027C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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