Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3096346 Art A1 23. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3096346
Aktenzeichen: EP15737108
Anmeldetag: 8. Januar 2015
Veröffentlichung: 23. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von