Optisches System, Bildgebungsvorrichtung und Herstellungsverfahren für Optisches System

EP3098641 Art A1 30. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3098641
Aktenzeichen
EP15737254
Anmeldetag
20. Januar 2015
Veröffentlichung
30. November 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G02B15/20G02B13/18G03B17/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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