Belichtungsvorrichtung, Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur und Speichermedium

EP3098834 Art A1 30. November 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3098834
Aktenzeichen: EP15737732
Anmeldetag: 13. Januar 2015
Veröffentlichung: 30. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G03F7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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