Plasmabehandlungsvorrichtung und Wafertransportplatte

EP3098838 Art B1 27. Januar 2021

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3098838
Aktenzeichen
EP15739877
Anmeldetag
21. Januar 2015
Veröffentlichung
27. Januar 2021
Erteilung
27. Januar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/687H01L21/67H01J37/32H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen