Formulierungen zur Verwendung nach dem Chemisch-Mechanischen Polieren und Verfahren zur Verwendung

EP3099839 Art A1 7. Dezember 2016

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, Atmi Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3099839
Aktenzeichen
EP15743809
Anmeldetag
29. Januar 2015
Veröffentlichung
7. Dezember 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321H01L21/311C11D11/00C11D3/00C11D7/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
Atmi Taiwan Co., Ltd.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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