Formulierungen zur Verwendung nach dem Chemisch-Mechanischen Polieren und Verfahren zur Verwendung
EP3099839
Art A1
7. Dezember 2016
Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, Atmi Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3099839
- Aktenzeichen
- EP15743809
- Anmeldetag
- 29. Januar 2015
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321H01L21/311C11D11/00C11D3/00C11D7/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
Atmi Taiwan Co., Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar