Waferwerkstück, Provisorisches Haftmaterial zur Waferbearbeitung und Verfahren zur Herstellung eines Dünnen Wafers

EP3101681 Art B1 25. März 2020

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3101681
Aktenzeichen
EP15743005
Anmeldetag
21. Januar 2015
Veröffentlichung
25. März 2020
Erteilung
25. März 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02B32B7/06B32B27/00C09J183/04H01L21/304C08L83/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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