Halbleiter-Wafer-Reinigungstank und Verfahren zur Herstellung eines Gebondeten Wafers
EP3101683
Art B1
16. Juni 2021
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3101683
- Aktenzeichen
- EP15740594
- Anmeldetag
- 13. Januar 2015
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2021
- Erteilung
- 16. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/02H01L21/304H01L21/67H01L21/762H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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