Substratübermittlungssystem und -Verfahren

EP3101684 Art B1 16. August 2023

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3101684
Aktenzeichen: EP14880616
Anmeldetag: 27. Juni 2014
Veröffentlichung: 16. August 2023
Erteilung: 16. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677B25J9/04H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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