Verdampfungsquelle für Organisches Material, Vorrichtung mit einer Verdampfungsquelle für Organisches Material, System mit einer Verdampfungsabscheidungsvorrichtung mit einer Verdampfungsquelle für Organische Materialien und Verfahren zum Betrieb einer Verdampfungsquelle für Organisches Material
EP3102715
Art A1
14. Dezember 2016
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3102715
- Aktenzeichen
- EP14702599
- Anmeldetag
- 4. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/24C23C14/56C23C14/04C23C14/12B05D3/04B05D1/02B05D1/00H01L51/00H01L51/56B65G49/05C23C14/50H01L21/67H01L21/677
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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